化合物半導体研究室 小澤哲夫 教授
Ozawa Tetsuo
【学位】博士（工学）（静岡大学）
【学位】博士（工学）（静岡大学）
- 1992年 静岡大学大学院博士課程修了
- 1992年 静岡理工科大学 助手（理工学部）
- 1997年 静岡理工科大学 講師（理工学部）
- 2001年 静岡理工科大学 准教授（理工学部）
- 2011年 現職
プラズマを使って半導体を作り、未来の太陽電池材料や量子コンピュータ材料を開発する
本研究ではマイクロ波により窒素プラズマを作り、アルミニウム、ガリウム、インジウムなどの金属へ照射すると、LEDなどで知られている窒化物半導体を低温・低圧で容易に作成する技術を開発しました。この技術を使って数十nmのナノロッド材料の作成に取り組んでいます。窒化物半導体のナノロッドは、次世代の高効率太陽電池や超高速量子コンピュータの電子材料として大変有望です。すでに、窒化アルミニウム（AlN）で50nm程度のナノロッド作成ができ、現在はこれらを格子状に整列させる研究に取り組んでいます。
研究室キーワード
半導体工学 電気電子材料熱流体工学